يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىشتا، توڭلىتىش تارقىتىش سىستېمىسىنىڭ پەقەت سۇيۇق ئازوت ياكى ئارگوننى بىر نۇقتىدىن يەنە بىر نۇقتىغا يۆتكەشتىن باشقا يەنە نۇرغۇن ئىشلارنى قىلىشى مۆلچەرلەنمەكتە. سۇيۇقلۇق ئىشلىتىش نۇقتىسىغىچە مۇقىم، پاكىز ۋە بىر باسقۇچلۇق بولۇشى كېرەك. ئازراق مىقداردىكى ئىسسىقلىقمۇ چاقناپ كېتىدىغان گاز، بېسىم ئۆزگىرىشى ياكى نەملىك بۇلغىنىشىنى پەيدا قىلىپ، جەرياننىڭ مۇقىملىقىغا تەسىر كۆرسىتىدۇ.

شۇڭلاشقاۋاكۇئۇم ئىزولياتسىيەلىك تۇرۇباسىستېمىلار ئادەتتە يېرىم ئۆتكۈزگۈچ زاۋۇتلىرىدا ئادەتتىكى كۆپۈك ئىزولياتورلۇق تۇرۇبا يولى ئورنىغا ئىشلىتىلىدۇ. مۇۋاپىق باشقۇرۇلىدىغان تۇرۇبا يولى بىلەن بىرلەشتۈرۈلگەندەدىنامىك ۋاكۇئۇم پومپا سىستېمىسى، ئومۇمىي ئىسسىقلىق ئېقىشى 3 W/m دىن تۆۋەن بولۇپ، پۈتۈن يۆتكەش لىنىيىسىدە ئۇزۇن مۇددەتلىك ۋاكۇئۇم مۇقىملىقىنى ساقلايدۇ.

يېرىم ئۆتكۈزگۈچ قوللىنىشلار ئۈچۈن، ۋاكۇئۇم ئىزولياتسىيەسىنى تۇرۇبا ئەتراپىدىكى پاسسىپ قەۋەت دەپ قاراشقا بولمايدۇ. ئۇ ئۆلچەنگىلى بولىدىغان ۋاكۇئۇم ئىقتىدارى ۋە ئۇزۇن مۇددەتلىك ئاسراشنى تەلەپ قىلىدىغان ئاكتىپ ئىسسىقلىق سىستېمىسى. يۇقىرى ئېنىقلىقتىكى چىپ ئىشلەپچىقىرىش مۇھىتىدا، سۇيۇقلۇقنىڭ تويۇنۇش تېمپېراتۇرىسىنىڭ ئازراق ئۆرلىشىمۇ سوۋۇتۇش توك يولى، تازىلاش سىستېمىسى ياكى جەرياننى كونترول قىلىش ئۈسكۈنىلىرىگە تەسىر كۆرسىتىدىغان ئىككى باسقۇچلۇق ئېقىم شارائىتىنى كەلتۈرۈپ چىقىرىشى مۇمكىن.

نېمىشقا ئىسسىقلىق ئېقىشى كرىئوگېن يېرىم ئۆتكۈزگۈچ سىستېمىلىرىدا مۇھىم؟

ھەر بىر كرىئوگېنلىق يۆتكەش لىنىيىسى ئۈچ خىل ئاساسلىق ئىسسىقلىق يۆتكەش شەكلىنىڭ تەسىرىگە ئۇچرايدۇ:

• ھالقىسىمان بوشلۇقتىكى رادىئاتسىيە
• قالدۇق مولېكۇلالار كەلتۈرۈپ چىقارغان گاز ئۆتكۈزۈشچانلىقى
• تىرەكلەر ۋە بوشلۇقلار ئارقىلىق قاتتىق ئۆتكۈزۈش

مۇۋاپىق لايىھەلەنگەن ھالەتتەۋاكۇئۇم ئىزولياتسىيەلىك تۇرۇبا، ھالقىسىمان بېسىم ئادەتتە 1×10⁻⁴ Pa دىن تۆۋەنلەيدۇ. بۇ ۋاكۇئۇم سەۋىيەسىدە، قالغان گاز مولېكۇلالىرىنىڭ ئوتتۇرىچە ئەركىن يولى ھالقىسىمان بوشلۇقتىن خېلىلا چوڭ بولۇپ، بۇ گاز ھالىتىدىكى ئىسسىقلىق ئۆتكۈزۈشچانلىقىنى زور دەرىجىدە تۆۋەنلىتىدۇ.

رادىئاتسىيەلىك ئىسسىقلىق ئۆتكۈزۈش كۆپ قەۋەتلىك ئىزولياتسىيە (MLI) ئارقىلىق كونترول قىلىنىدۇ. ئىزولياتسىيە نۇر قايتۇرۇش يوپۇقى ۋە تۆۋەن ئۆتكۈزۈشچانلىق بوشلۇق ماتېرىياللىرىنىڭ ئالمىشىپ تۇرىدىغان قەۋەتلىرىدىن تەركىب تاپقان. توغرا قەۋەت زىچلىقى ۋە ئورنىتىش ئۇسۇلى ئارقىلىق، رادىئاتسىيەلىك ئىسسىقلىق ئېقىمىنى ھەر كۋادرات مېتىرغا پەقەت بىر نەچچە ۋاتقىچە تۆۋەنلىتىشكە بولىدۇ.

قالغان ئىسسىقلىق يولى ئاساسلىقى مېخانىكىلىق تىرەكلەردىن كېلىدۇ. بۇ تەسىرنى ئەڭ تۆۋەن چەككە چۈشۈرۈش ئۈچۈن، ئادەتتە G-10 ئەينەك تالا ياكى Torlon® قاتارلىق تۆۋەن ئۆتكۈزگۈچلۈك ماتېرىياللار ئىشلىتىلىدۇ. بۇ تىرەكلەر يەنىلا ئىش جەريانىدا ئىسسىقلىق قىسقىرىشى، تىترىشى ۋە يەر تەۋرەش يۈكىگە بەرداشلىق بېرەلەيدىغان دەرىجىدە مېخانىكىلىق كۈچ تەلەپ قىلىدۇ.

ئۇزۇن ئارىلىقتا، ۋاكۇئۇم ئىزولياتور بىلەن كۆپۈك ئىزولياتورنىڭ پەرقى ئىنتايىن روشەن بولۇپ قالىدۇ. ياخشى ساقلانغان ۋاكۇئۇم سىستېمىسى نۇرغۇن يىللار مۇقىم ئىسسىقلىق ئىقتىدارىنى ساقلىيالايدۇ، كۆپۈك ئىزولياتور بولسا ئاستا-ئاستا ئاتموسفېرادىكى نەمنى سۈمۈرىۋالىدۇ. نەملىك ئىزولياتور قۇرۇلمىسىغا كىرىپ مۇزلاپ قالغاندىن كېيىن، ئىسسىقلىق ئۈنۈمى ئادەتتە ۋاقىتنىڭ ئۆتۈشىگە ئەگىشىپ تۆۋەنلەيدۇ.

ئەمەلىي يېرىم ئۆتكۈزگۈچ LN₂ تەقسىملەش سىستېمىلىرىدا،ۋاكۇئۇم ئىزولياتسىيەلىك تۇرۇبا يولىئەنئەنىۋى كۆپۈك ئىزولياتورلۇق لىنىيىلەرگە سېلىشتۇرغاندا، بولۇپمۇ ئۇزۇن مەزگىللىك سىرتقى يوللاردا ياكى ئۈزلۈكسىز ئىشلەۋاتقان ئاساسلىق سۇ باشلىغۇچلاردا قاينىتىشنى زور دەرىجىدە ئازايتالايدۇ.

دىنامىك ۋاكۇئۇم پومپا سىستېمىسى

ئىستاتىك چاڭ-توزان سۈمۈرگۈچنىڭ بىر مەسىلىسى شۇكى، چاڭ-توزان سۈمۈرگۈچنىڭ سۈپىتى گازنىڭ ئېشىپ كېتىشى، گېلىينىڭ سىڭىپ كىرىشى ياكى مىكروسكوپ ئارقىلىق ئېقىپ كېتىش سەۋەبىدىن يىللارنىڭ ئۆتۈشىگە ئەگىشىپ ئاستا-ئاستا تۆۋەنلىشى مۇمكىن.

بۇنى ھەل قىلىش ئۈچۈن، چوڭ دىئامېتىرلىقۋاكۇئۇم ئىزولياتسىيەلىك تۇرۇباسىستېمىلار بىلەن تەمىنلىنىشى مۇمكىندىنامىك ۋاكۇئۇم پومپا سىستېمىسىبۇ سىستېما ئادەتتە كىچىك تۇربومولېكۇلا ياكى ئايلانما پومپا قۇرۇلمىسىنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ، بۇ پومپا ۋاقىتلىق ھالدا ئۈزۈك شەكىللىك ۋاكۇئۇمنى ئەسلىدىكى لايىھە ھالىتىگە قايتۇرىدۇ.

ۋاكۇئۇم سەۋىيەسى سوغۇق كاتود ئۆلچەش ئەسۋابلىرى ئارقىلىق ئۈزلۈكسىز نازارەت قىلىنىدۇ. پومپا پەقەت بېسىم نىشان بەلگىلەنگەن نۇقتىدىن ئېشىپ كەتكەندىلا قوزغىلىدۇ، شۇڭا توك سەرپىياتى ۋە ئاسراش تەلىپى نىسبەتەن تۆۋەن بولىدۇ.

تەيۋەننىڭ شىنچۇدىكى بىر يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئەسلىھەسىنى يېڭىلاش تۈرىدە، ئاكتىپ باشقۇرۇلىدىغان ۋاكۇئۇم پومپا سىستېمىسى ئىشلەپچىقىرىش لىنىيىسىنى تاقىۋەتمەي تۇرۇپ، كونا LN₂ يۆتكەش باشلىقىنىڭ ئىسسىقلىق ئىقتىدارىنى ئەسلىدىكى ئىشلەش ھالىتىگە يېقىنلاشتۇرۇشىغا يول قويدى. يېڭى تۈرلەر ئۈچۈن، ئاكتىپ ۋاكۇئۇم ئاسراش مەشغۇلاتچىلارنىڭ سىستېمىنىڭ خىزمەت مۇددىتى ئىچىدە ئۇزۇن مۇددەتلىك ئىزولياتسىيە مۇقىملىقىغا بولغان ئىشەنچىسىنى ئاشۇرىدۇ.

ماتېرىياللار ۋە سىستېما لايىھىسى

يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ۋە ئىنتايىن يۇقىرى ساپلىق ئىشلىتىش ئۈچۈن، ئىچكى پىششىقلاش تۇرۇبىسى ئادەتتە 304L ياكى 316L داتلاشماس پولاتتىن ياسىلىدۇ. ئىچكى يۈزلەر تازىلانغان، تازىلانغان ۋە پاسسىپلاشتۇرۇلغان بولۇپ، ئوكسىگېن تازىلاش تەلىپىگە ماس كېلىدۇ ھەمدە بۇلغىنىش خەۋپىنى ئەڭ تۆۋەن چەككە چۈشۈرىدۇ.

سىرتقى قاپاق ئورنىتىش مۇھىتىغا ئاساسەن بوياقلىق كاربون پولات ياكى داتلاشماس پولات ئىشلىتىلىشى مۇمكىن. پاكىز ئۆيگە يېقىن رايونلاردا، داتلىشىش ياكى يۈزەكى بۇلغىنىشنىڭ ئالدىنى ئېلىش ئۈچۈن، داتلاشماس پولات سىرتقى قاپاقلار كۆپىنچە ياخشى كۆرۈلىدۇ.

ئىسسىقلىق قىسقىرىشىنىمۇ ئەستايىدىل ئويلىشىش كېرەك. LN₂ يۆتكەش لىنىيىسى مۇھىت تېمپېراتۇرىسى بىلەن ئىشلىتىش تېمپېراتۇرىسى ئارىسىدا ھەر مېتىرغا تەخمىنەن 2.5-3 مىللىمېتىر قىسقىرايدۇ. بۇ ھەرىكەتنى سۈمۈرۈش ئۈچۈن، ئادەتتە تۇرۇبا تورىنىڭ ھېسابلىنىدىغان لەڭگەر ئورۇنلىرىغا سىلفون تىپلىق كېڭەيتىش كومپېنساتورلىرى ئورنىتىلىدۇ.

ھەرىكەت ياكى ئەركىنلىك تەلەپ قىلىنىدىغان جايلاردا،ۋاكۇئۇم ئىزولياتورلۇق ئېلاستىك شلانگئادەتتە قۇرۇلمىلار ئىشلىتىلىدۇ. ئادەتتىكى ئورۇنلار باك ئۇلىنىشى، ئۈسكۈنىلەرنىڭ ئۇلىنىشى، كۆپ قاتلاملىق تارماق ۋە كۆچمە پىششىقلاش ئۈسكۈنىلىرىنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ.

بۇ يۇمشاق تۇرۇبالاردا قاتتىق ۋاكۇئۇم تۇرۇبىسىغا ئوخشاش، دولقۇنسىمان ئىچكى يادروسى بىلەن بىرلىكتە ۋاكۇئۇم قاپىقى ۋە MLI قۇرۇلمىسى ئىشلىتىلگەن. مۇۋاپىق لايىھەلەنگەن قۇرۇلمىلار قايتا-قايتا توڭلىتىش ئىسسىقلىق دەۋرىيلىكىدىن كېيىن ۋاكۇئۇم پۈتۈنلۈكىنى ساقلاپ قېلىش بىلەن بىرگە، ئىزولياتورسىز ئۆرۈلگەن تۇرۇبالاردا كۆپ ئۇچرايدىغان سىرتقى مۇز شەكىللىنىشىنىڭ ئالدىنى ئالىدۇ.

ۋاكۇئۇم ئىزولياتسىيەلىك كلاپانلارۋەباسقۇچ ئايرىغۇچلار

ئىسسىقلىق ئېقىشىنى باشقۇرۇش پەقەت تۈز تۇرۇبا بۆلەكلىرى بىلەنلا چەكلىنىپ قالمايدۇ. كلاپانلار ۋەباسقۇچ ئايرىغۇچلارشۇنداقلا مۇقىم كرىئوگېن ئېقىم شارائىتىنى ساقلاشتا مۇھىم رول ئوينايدۇ.

A ۋاكۇئۇم ئىزولياتسىيەلىك كلاپانئادەتتە ئۇزۇنراق قاپاق ۋە ۋاكۇئۇم بىلەن قاپلانغان قاپاقنى ئىشلىتىپ، مۇھىم پېچەتلەش رايونلىرىنى ئىنتايىن تۆۋەن تېمپېراتۇرىدىن ساقلايدۇ. بۇ، غول ئورالمىسىنىڭ ئەتراپىدىكى مۇزلاپ قېلىشنىڭ ئالدىنى ئالىدۇ ۋە كلاپان قۇرۇلمىسى ئىچىدىكى كېرەكسىز قويۇقلىشىشنى ئازايتىدۇ.

ۋاكۇئۇم ئىزولياتسىيەسى بولمىسا، كلاپانلار سىستېمىنىڭ ئىچىدىكى مەركەزلەشكەن ئىسسىقلىق ئېقىش نۇقتىسىغا ئايلىنىپ قالىدۇ. سۇيۇق توڭلىتىش مۇلازىمىتىدە، بۇ يەرلىك پار خالتىلىرى، مۇقىمسىز ئېقىم شارائىتى ياكى سۇ بولقىسى ۋەقەلىرىنى پەيدا قىلىشى مۇمكىن.

يېرىم ئۆتكۈزگۈچ جەريان سىستېمىلىرى ئۈچۈن، ASME B31.3 ۋە EN 13480 تەلىپىگە ئاساسەن، كېڭەيتىلگەن قاپاقلىق شار شەكىللىك كلاپانلار ۋە ئۈستى كىرىش شار شەكىللىك كلاپانلار ئادەتتە ئىشلىتىلىدۇ.

A ۋاكۇئۇم ئىزولياتورلۇق فازا ئايرىغۇچسۇيۇقلۇق سەزگۈر تۆۋەنكى ئېقىم ئۈسكۈنىلىرىگە كىرىشتىن بۇرۇن چاقناپ تۇرغان گازنى چىقىرىۋېتىش ئۈچۈن ئىشلىتىلىدۇ. يېرىم ئۆتكۈزگۈچ قوللىنىشلىرىدا، مۇقىمسىز ئىككى باسقۇچلۇق ئېقىم بېسىم ئۆزگىرىشىنى كەلتۈرۈپ چىقىرىپ، جەريان سىگنالى ياكى ئۈسكۈنىلەرنىڭ ئۆز-ئارا باغلىنىشىنى قوزغىتىدۇ.

كۆپىنچە ئايرىش لايىھەلىرى پار-سۇيۇقلۇق ئايرىش ئۈنۈمىنى ئاشۇرۇش ئۈچۈن ئىچكى ئايرىش قۇرۇلمىسى بىلەن بىرلىكتە تانگېنسىئال كىرىش ئېغىزىنى ئىشلىتىدۇ. نۇرغۇن تۈرلەردە، ئايرىش ئۈسكۈنىسى ئىشلەپچىقىرىش مەيدانىنىڭ يېنىغا ئورنىتىلغان كىچىك باك بىلەن بىرلەشتۈرۈلىدۇ. كىچىك باك يەرلىك بۇففېر ھەجىمى رولىنى ئوينايدۇ، بۇ قىسقا مۇددەتلىك ئېھتىياج تەۋرىنىشىنى مۇقىملاشتۇرۇشقا ياردەم بېرىدۇ، قوشۇمچە ئىسسىقلىق يۈكىنى ئاشۇرمايدۇ.

يېرىم ئۆتكۈزگۈچ تۈرىنىڭ مىسالى

جەنۇبىي كورېيەدىكى بىر DRAM ئۈسكۈنىسىنى كېڭەيتىش تۈرىدە، سۇغا چۆمۈلگەن سوۋۇتۇش سىناق ئۈسكۈنىلىرى ۋە لېنتىلىق بىر تەرەپ قىلىش قوراللىرى بىلەن تەمىنلەيدىغان يېڭى LN₂ تارقىتىش تورى تەلەپ قىلىندى.

ئورنىتىش جەريانىدا تەخمىنەن 180 مېتىر ئۇزۇنلۇقتىكى قاتتىق ۋاكۇئۇم ئىزولياتورلۇق تۇرۇبا بار بولۇپ، بۇ تۇرۇبا ۋاكۇئۇم ئىزولياتورلۇق يۇمشاق تۇرۇبا ئارقىلىق كۆپ خىل قورال تارماقلىرىغا ئۇلانغان. چوڭ مىقداردىكى ساقلاش رايونىغا ۋاكۇئۇم ئىزولياتورلۇق باسقۇچ ئايرىغۇچ ۋە 2 كۇب مېتىرلىق كىچىك باك ئورنىتىلغان.

دىنامىك ۋاكۇئۇم پومپا سىستېمىسى ئاساسلىق 6 دىيۇملۇق يۆتكەش لىنىيىسىدىكى ھالقىسىمان بېسىمنى 5 × 10⁻⁶ mbar دىن تۆۋەن ساقلىدى.

ئىشقا كىرىشتۈرۈش جەريانىدا، مۇقىم ئىشلىتىش شارائىتى ئاستىدا، ئاساسلىق باش قىسمىدىكى ئۆلچەنگەن ئىسسىقلىق ئېقىشى ئوتتۇرىچە 1.3 W/m2 بولغان. بىر يىل ئۈزلۈكسىز خىزمەت قىلغاندىن كېيىن، ۋاقىتلىق ۋاكۇئۇم ئەسلىگە كەلتۈرۈش دەۋرىيلىكى ئىزولياتسىيە ئىقتىدارىنى دەسلەپكى ئاساسىي ھالەتكە يېقىنلاشتۇرغان.

ئىلگىرىكى كۆپۈك ئىزولياتسىيەلىك لايىھە بىلەن سېلىشتۇرغاندا، بۇ ئۈسكۈنە سۇيۇق ئازوتنىڭ يوقىلىشىنى كۆرۈنەرلىك دەرىجىدە ئازايتقان ۋە ئىشلىتىش مۇقىملىقىنى ياخشىلىغان. ئىشلەپچىقىرىش خاتىرىسىدىمۇ ئىزولياتسىيەنىڭ بۇزۇلۇشى بىلەن مۇناسىۋەتلىك نەملىك بىلەن مۇناسىۋەتلىك بۇلغىنىش ۋەقەلىرى كۆرۈلمىگەن.

قوللىنىشچان پروگراممىلار

ۋاكۇئۇم ئىزولياتسىيەلىك توڭلىتىش سىستېمىسى يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىش، سۇيۇقلاندۇرۇلغان تەبىئىي گاز ئۇل ئەسلىھەلىرى، سانائەت گاز تەقسىماتى ۋە سۇيۇق ھىدروگېن ئىشلىتىش قاتارلىق ساھەلەردە كەڭ قوللىنىلىدۇ.

ئىشلىتىش مۇھىتى ئوخشىمىسىمۇ، قۇرۇلۇشنىڭ مەقسىتى ئوخشاش بولۇپ قالىدۇ:

• ۋاكۇئۇم مۇقىملىقىنى ساقلاڭ
• ئىسسىقلىق كىرىشىنى ئەڭ تۆۋەن چەككە چۈشۈرۈش
• يۆتكەش جەريانىدا باسقۇچ مۇقىملىقىنى ساقلاڭ

سىستېما لايىھىسى ئادەتتە تۈر دائىرىسى ۋە رايون تەلىپىگە ئاساسەن ASME B31.3، EN 13480 ۋە ISO 21029 قاتارلىق خەلقئارا ئۆلچەملەرگە ئەمەل قىلىدۇ.

يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئەسلىھەلەر ئۈچۈن، توڭلىتىش تارقىتىش سىستېمىسىنىڭ ئىقتىدارى ئىشلىتىش ئۈنۈمى، سۇيۇقلۇق سەرپىياتى ۋە ئۇزۇن مۇددەتلىك جەريان ئىشەنچلىكلىكىگە بىۋاسىتە تەسىر كۆرسىتىدۇ. شۇڭا، تۇرۇبا يولى، كلاپان، ئايرىغۇچ ۋە ۋاكۇئۇم ئاسراش سىستېمىلىرى مۇستەقىل زاپچاسلار ئەمەس، بەلكى بىر گەۋدىلەشكەن ئىسسىقلىق سىستېمىسى سۈپىتىدە لايىھەلىنىشى كېرەك.

At HL كرىئوگېنىكلىرى، بىز EPC قۇرۇلۇشچىلىرى، گاز شىركەتلىرى ۋە يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئەسلىھەلىرى بىلەن ھەمكارلىشىپ، ئۆلچەملىك كاتالوگ سەپلىمىسىگە ئەمەس، بەلكى ئەمەلىي ئىشلىتىش شارائىتى، ئىسسىقلىق يۈك نىشانى ۋە ئورنىتىش تەلىپىگە ئاساسەن توڭلىتىش يۆتكەش چارىلىرىنى تەرەققىي قىلدۇرىمىز.

ئەگەر سىز يېڭى يېرىم ئۆتكۈزگۈچ زاۋۇتى تۈرىنى پىلانلىسىڭىز ياكى مەۋجۇت LN₂ تارقىتىش تورىنى يېڭىلىسىڭىز، بىزنىڭ قۇرۇلۇش گۇرۇپپىمىز ئىسسىقلىق ئېقىش ئىقتىدارىنى، ۋاكۇئۇم ئىستراتېگىيىسىنى ۋە ئۇزۇن مۇددەتلىك ئىشلىتىش ئۈچۈن سىستېما سەپلىمىسىنى باھالاشقا ياردەم بېرەلەيدۇ.